制作玻璃基離子交換光波導(dǎo)的方法，在波導(dǎo)制作工藝 過程中引入對圖形化的鋁膜的陽極氧化預(yù)處理，以檸檬酸溶液作為電解液和電解介質(zhì)的方法完成對圖形化的鋁膜的氧化，實現(xiàn)簡單，氧化鋁掩膜對銀線的抑制效果好；制作得到的光波導(dǎo)與光纖匹配良好，損耗低。

    本發(fā)明的技術(shù)方案包括一種制作玻璃基離子交換光導(dǎo)的方法，包括在玻璃基片上形成圖案化的鋁膜；對鋁膜進(jìn)行陽極氧化處理；對帶有處理后的鋁掩膜的玻璃基片進(jìn)行離子交換，形成光波導(dǎo)。其中，在該陽極氧化處理過程中采用檸檬酸溶液作為電解液。

    該玻璃基片帶有圖案化鋁膜一側(cè)所在的檸檬酸溶液中設(shè)置正極，相對一側(cè)所在的檸檬酸溶液中設(shè)置負(fù)極。所述檸檬酸溶液的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10% -30%.其中，在該陽極氧化處理過程中，加載100-300伏特的電壓。本發(fā)明還包括一種用于對鋁膜進(jìn)行陽極氧化處理的裝置，包括第一容器，用于容納第一電解液。

    第二容器，至少底部設(shè)有開口，該第二容器置于該第一容器內(nèi)并用于容納第二電解液；其中，該第二容器底部開口用于與具有該待處理的鋁膜的玻璃基片密封連接，從而將所述第一電解液與所述第二電解液隔開。其中，所述鋁膜面向該第二電解液，正電極設(shè)置在該第二電解液中，負(fù)電極在該第一電解液中。